檢查零件內(nèi)表面光潔度的顯微干涉輪廓儀在顯微干涉輪廓
儀里,狹縫成像在被檢表而上,這就使我們不僅可以檢查有不規(guī)
則加工痕跡的表面,而且便于圓柱表面的檢查。
實(shí)際上如果狹縫像平行于圓柱母線,則儀器視場(chǎng)中看到直條紋,
其寬度是不變的,與圓柱直徑無關(guān)。特別有價(jià)值的,
是顯微干涉輪廓儀還可以用來檢查光潔度等級(jí)高的內(nèi)圓柱表面,
過去,沒有檢查內(nèi)圓柱表面光潔度的儀器,只能對(duì)主要零件進(jìn)行抽檢,
先要把它切開,然后在干涉顯微鏡上檢驗(yàn)。