管坯約長1米,放在紅外光干燥設(shè)備中千燥。水分除去后,
用石景管式爐和氛氣氣氛于2150℃下燒成。燒成后,所得管子的
強度很高,在繼續(xù)進行加工處理時不會破損。
將管子浸入到50%甘蔗糖水溶液中,浸潰后小心地慢慢干燥,
溫度緩慢升至15 0℃,升溫速度以管子外面不出現(xiàn)可見氣飽為準,
相當于從室溫升到150℃需要60分鐘。
然后將干燥后的管子放入金屬板箱中,密封好后加熱到
450℃,并保溫.1小時,使槍熱解成碳,一同時不.要披空氣氧化。
當金屬板箱冷卻后,取出等子,用拉度小于50微米的硅粉充填管
子內(nèi)部,并用硅粉把管子包裹起來。為了防止在下一步硅化工序
中加熱時發(fā)生氧化,管子外部先包一層薄紙,然后用石墨粉包裹
起來。
將經(jīng)過上述處理的管子置于石蚤容器中,然后放入護中,在
2150℃的覓氣氣氛中緞燒約15分鐘。
為了控制工藝過程,取出一些管子進行檢查。發(fā)現(xiàn)由糖轉(zhuǎn)化
的碳全部都轉(zhuǎn)變成碳化硅,這種碳化硅以不尋常的方式與原碳化
硅顆�;匣蚪Y(jié)合在一起,形成很致密的燒結(jié)物,只有在高倍顯
微鏡下和花一翻功夫才能肴到原碳化硅穎粒的一些邊界。管子的
氣孔率約為2 50(體積),因此約含75%(體積)的碳化硅。