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信息分類：生命科學(xué)資訊　　　　作者:YIYI發(fā)布　

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磁浮定位平臺、摩擦驅(qū)動定位平臺、導(dǎo)螺桿定位平臺(馬達(dá)+導(dǎo)螺桿)、線性馬達(dá)定 
位平臺等，也已經(jīng)在實際的應(yīng)用上有著相當(dāng)?shù)某尚�，但對于掃描探�?a href="http://m.xinmaotiandiyuan.com" title="顯微鏡價格" target="_blank" class="sitelink">顯微鏡而言，
這些平臺的設(shè)計，也都存在著與壓電陶瓷驅(qū)動平臺相同的瓶頸，因此在實際應(yīng)用 
掃描探針顯微鏡上，除非有其他如成本或環(huán)境控制上的考量，否則納米級定位平 
臺仍不是應(yīng)用在掃描探針顯微鏡上，最適當(dāng)?shù)钠脚_定位系統(tǒng)。 
除了上述之兩種定位系統(tǒng)外，可應(yīng)用在掃描探針顯微鏡上之定位系統(tǒng)尚有雙 
平臺定位系統(tǒng)，雙平臺定位系統(tǒng)是應(yīng)用粗動定位平臺(Coarse positioning stage) 
與細(xì)動定位平臺(Fine positioning stage)搭配成兼具高解析度與長行程之定位系 
統(tǒng)，例如以壓電材料驅(qū)動之微動平臺，結(jié)合直流伺服馬達(dá)和滾珠螺桿驅(qū)動之粗動 
平臺。利用粗動定位平臺具有長行程、低定位解析度，以及微定位平臺具有高定 
位解析度、高反應(yīng)速度和短行程的特點，將微定位平臺結(jié)合于粗動定位平臺的上 
方，則可獲得長行程、高定位解析度、高反應(yīng)速度之定位平臺系統(tǒng)[3]。 
但是雙平臺定位系統(tǒng)，由于是由兩種不同的驅(qū)動系統(tǒng)所組成，且兩個驅(qū)動系 
統(tǒng)之動態(tài)特性也不盡相同，因此在控制上較為復(fù)雜。然而利用傳統(tǒng)的 PID 控制法 
則，仍可達(dá)到強健且具有次納米級定位精度與解析度之定位系統(tǒng)。因此雙平臺 
定位系統(tǒng)可稱是應(yīng)用在掃描探針顯微鏡上，最為適當(dāng)?shù)钠脚_定位系統(tǒng) 

本文由出自上海光學(xué)儀器廠，轉(zhuǎn)載請注明
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