利用一陣列式檢光感測器對于表面光散射做紀錄分析。散射光能量及角度涵蓋量
會隨著表面粗糙度的變化而改變,表面粗糙度越大,散射光的能量也越大,
涵蓋角度也會變大。實驗的設置乃根據(jù)反射定律決定光源、受測物與感測器的相關
位置如圖2,入射角與反射角相等;因所針對的試片為金屬,屬于不可穿透之
元件。
將光陣列感測器(S5668)設置于反射端,以反射光束為中心校正感測器的相關位置,
取量測距離(反射光束至感測器距離)26mm,固定感測器與試片的角度,
得知入射光經表面粗糙度所反應出的光散射效
應,并了解入射光的角度會對散射特征產生改變之情形為何。感測器夾持工具為
三軸且可旋轉之平臺,精度達0.01mm、1°;而工件夾持為一旋轉平臺,
可以隨機且精準的校正彼此的相關位置。實驗系統(tǒng)架設于精密光學桌上,
并以遮光布簾遮蓋,以避免外界低頻振動、光害等影響。將感測器上獲得的光反射
與散射能量透過類比轉數(shù)位轉換送交擷取卡,再由電腦讀取。以LabView軟體設計擷
取、儲存操作介面。再將儲存的檔案以數(shù)值分析軟體開啟,建立起圖形分析。
系統(tǒng)元件取得容易,且實驗架構具有可調性、可靠性、精密度與便利性,
針對平面元件的量測,皆可有效的利用