無孔徑近場掃描式光學(xué)顯微術(shù)之訊噪比評估
近場掃描式光學(xué)顯微鏡提供了空間解析度小于繞射極限的光學(xué)資訊
,
而光纖式近場掃描式光學(xué)顯微鏡由于光纖易受到其截止效應(yīng)、熱傷害等現(xiàn)象影響到其解析度,
故發(fā)展出了無孔徑的近場掃描式光學(xué)顯微鏡。
研究目的在于以原子力顯微鏡為基礎(chǔ),建立一套無孔徑近場掃描式光學(xué)顯微鏡,
藉由自差式干涉與外差式干涉技術(shù)的使用擷取光學(xué)訊號。
而擷取的光學(xué)散射信號包含了探針與奈米結(jié)構(gòu)交互作用的近場光學(xué)信號以及結(jié)構(gòu)表面散射等作用產(chǎn)生的背景信號,
將此信號經(jīng)過鎖相放大器之解調(diào)變以獲得奈米結(jié)構(gòu)的近場光學(xué)資訊。
藉由資料擷取卡或數(shù)位信號處理器嵌入式系統(tǒng)做為控制核心,
整合周邊的操控
元件,并對此系統(tǒng)目前的穩(wěn)定度進(jìn)行校正以及針對量測得到的實驗結(jié)果進(jìn)行訊噪比之評估