聲柵掃描的特點(diǎn)
元件長(zhǎng)度決定視野大小-解像力可到微米
因?yàn)槁暡ㄒ呀?jīng)快速地在一個(gè)方向(沿晶軸方向)掃描了,只要在另一水平面機(jī)械式的移動(dòng)受測(cè)物,
就可得到二維的照射而產(chǎn)生二維的影像了。因?yàn)閽呙栌幸粋(gè)方向很快,
另一個(gè)很慢(稱(chēng)為Raster scan),所以它的掃描和一般電視掃描格式相當(dāng),因此可直接以電視掃描方式將影像顯示在螢光幕。
這種利用調(diào)頻表面波和週期性平行槽碰撞而達(dá)到聲波聚焦與掃描的元件,我們稱(chēng)為聲柵掃描器(grating acoustic scanner)。
它具有的特點(diǎn)可歸納為:
一、能產(chǎn)生寬波寬的非線(xiàn)性調(diào)頻波形,因此其對(duì)應(yīng)之鏡窗很寬,
二、其焦距可由頻寬與波寬比來(lái)調(diào)變,
三、具有以電子方式掃描與聚焦的能力
四、平面結(jié)構(gòu),受測(cè)物很靠近元件底面,減少聲波行進(jìn)距離,減少衰減,
五、元件長(zhǎng)度決定視野大小,容易獲得寬廣視野。我們?cè)?jīng)在低頻波段測(cè)試此類(lèi)元件之可行性,
使用聲柵掃描器在3MHz所攝得的即時(shí)影像,它表示一複層材料黏貼不良之缺陷。
利用積體電路制作技術(shù)中之光刻技術(shù),操作頻率在GHz波段的元件可以達(dá)到,其對(duì)應(yīng)解像力在微米范圍