STM 是由 Gerd Binnig 及 Heinrich Rohrer 共同設(shè)計實驗出的結(jié)果。起初是因兩人
討論到 Rohrer 對于”inhomogeneities on surfaces(表面不均勻能量態(tài))”的想法,特別
是針對金屬表面上的薄氧化層樣品;由于這個研究牽涉到如何小范圍地觀察這些薄
膜,兩人了解到這方面儀器的缺乏。
另一方面,兩人也想知道若依特別的排列方式進(jìn)
行穿隧接觸(arranging tunneling contacts in a specific manner),是否可以得到更多與這
個題目相關(guān)的資訊。因此 Binnig 想起了自己之前的想法,也就是 vacuum tunneling(真空穿隧)。
當(dāng)時距離 Giaever 發(fā)表 tunneling spectroscopy 技術(shù)已有 20 年之久,但一直到兩人
開始進(jìn)行研究后不久,才由另一位 IBM Research Division’s Technical Review Board 的
成員 Seymour Keller 將他們的注意力引向 W. A. Thompson 及 Hanrahan 在 1976 年利用
positionable tip(可定位探針)所做的真空穿隧嘗試。Binning 和 Rohrer 驚喜地發(fā)現(xiàn)許
多新的可能性,他們將不只獲得一個區(qū)域性的能譜探測,這種掃瞄方式將可以同時得
到能量分布和表面形貌的影像,換言之,這將是一種新的顯微鏡