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元件的尺度的精密度大約在 1μm 左右測量工具顯微鏡

信息分類:生命科學(xué)資訊    作者:YIYI發(fā)布 

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元件的尺度的精密度大約在 1μm 左右測量工具顯微鏡


繞射式光學(xué)元件(Diffractive Optical Elements,簡稱 DOEs)是近
年來急速發(fā)展的領(lǐng)域。繞射式光學(xué)元件是利用繞射原理來進(jìn)行功能
的重建,其元件的尺度的精密度大約在 1μm 左右。繞射式光學(xué)元件
能夠?qū)崿F(xiàn)多功能光學(xué)特性,其具有許多的特點(diǎn):包括高繞射效率、
設(shè)計(jì)的自由度高、材料的選擇性大、特殊的光學(xué)特性、配合塑膠射
出技術(shù)等等。

設(shè)計(jì)繞射式光學(xué)元件通常為單一或是雙片式透鏡,在今日超大型積體電路的制程技術(shù)已發(fā)展成熟的情況之下,
使元件能夠微小化、精密化,并可量產(chǎn)以降低制作成本。在其他光電系統(tǒng)中之成像元件,

我們也盡力要求焦距短、數(shù)值孔徑(Numerical Aperture,簡稱 NA)高的光學(xué)元件,
使其能運(yùn)用在光學(xué)讀寫頭、條碼閱讀機(jī)、雷射印表機(jī)、
雷射準(zhǔn)直透鏡及微小透鏡陣列等之聚光、成像、掃描裝置,甚至運(yùn)
用到 DVD 讀寫頭、密度多功分波器以及下一代高速平行計(jì)算系統(tǒng)中
的光學(xué)連結(jié)元件,而在未來的 CD-ROM 或是 DVD-ROM 的讀寫頭
所用的聚焦透鏡之?dāng)?shù)值孔徑將要達(dá)到 0.6~0.8。
本文由出自上海光學(xué)儀器廠,轉(zhuǎn)載請注明
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