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機(jī)械式探針和光探針最主要的區(qū)別？光學(xué)顯微鏡百科

信息分類：生命科學(xué)資訊　　　　作者:YIYI發(fā)布　

機(jī)械式探針和光探針最主要的區(qū)別是什么？光學(xué)顯微鏡百科

探針式激光干涉感測(cè)法：

此種表面粗糙度量測(cè)儀為結(jié)合探針式表面粗糙度量測(cè)儀、激光干涉儀和精密移動(dòng)平臺(tái)設(shè)計(jì)、制作等優(yōu)點(diǎn)

➢ 光探針式自動(dòng)對(duì)焦伺服探頭感測(cè)法：

以激光式收錄器替代探針式收錄器和有一雙軸移動(dòng)的精密臺(tái)所組成。

＊　機(jī)械式探針和光探針最顯著的差別在于微小激光光可達(dá)波谷，機(jī)械式探針受到針尖半徑的限制可能無(wú)法到達(dá)，

同時(shí)激光光投射點(diǎn)直徑僅約在0.8μm 而已

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