通常光學(xué)干涉方法則是光學(xué)干涉的一個
測量技術(shù),同時
使用光學(xué)干涉方法所采用的測量表面激光反射圖像的暗
區(qū)則不需要對比使用實(shí)現(xiàn)運(yùn)動表面的粗糙度的實(shí)時測量。
而對于國內(nèi)所使用的光學(xué)干涉的計算測量的技術(shù)的研究
來說則主要是采用掃描測量的技術(shù)進(jìn)行的研究的。
對于使用這種技術(shù)則可以對其進(jìn)行自動圖像處理的同時
,還對光學(xué)干涉顯微鬮的光學(xué)干涉圖像進(jìn)行自動分析處
理與檢測。
因此使用光學(xué)干涉則可以提高檢測速度的同時,還可以
使得光學(xué)干涉圖像的分辨率提高,超過產(chǎn)品與零件的檢
測提供了重要的手段。