通常一般情況下X射線能譜儀在1978年,還沒(méi)有與計(jì)算機(jī)
配合使用,只使用于多道分析器中,能量分辨率是非常
低的。
只能夠作定性分析,不能作定時(shí)分析,到了1984年X射線
能譜儀能量分辨率可以達(dá)到一百六十伏,引入到計(jì)算機(jī)
使用。
同時(shí)X射線能譜儀內(nèi)存可以作定性,定量和無(wú)樣品標(biāo)本定
量分析,直到功能的擴(kuò)散,可使得改進(jìn)探頭,利用無(wú)窗
或是超薄窗口可檢測(cè)超經(jīng)元素。
使用計(jì)算機(jī)除了可作定性,定量以及無(wú)樣品標(biāo)本分析外
,還可以作數(shù)字圖像處理與分析。