目前國內(nèi)外對非接觸檢測技術(shù)的研究
可以說這些年國內(nèi)外對非接觸式
測量技術(shù)相關(guān)方面的研究還是相當(dāng)重視
的。這些測量方法通常都是在
光學(xué)以及圖像處理等技術(shù)的基礎(chǔ)上加以研究進(jìn)行的。
這些測量方法具體為:(1)光散射法、(2)光干涉法、(3)光切法,
等。
光干涉法是以光學(xué)干涉原理為基本的測量技術(shù)。清華大學(xué)的雒建斌教授
等人提出了利用被測表面激光反射圖的暗區(qū)比來進(jìn)行運(yùn)動表面粗糙度的實時
測量。而國內(nèi)的長城計量測試技術(shù)研究所運(yùn)用掃描測量技術(shù)。利用自動圖像
處理系統(tǒng)對干涉
顯微鏡的干涉圖像進(jìn)行自動分析處理與檢測。這樣不但提高
了檢測速度,而且也提升了干涉圖像的判讀分辨率,所以此方法成了超精細(xì)
加工產(chǎn)品和零件的檢測工作的一個極為重要的手段及方式。
光的散射法是以光學(xué)散射原理為基礎(chǔ)的測量技術(shù)。之前四川聯(lián)合大學(xué)以及
哈爾濱理工大學(xué)針對光散射法測量進(jìn)行了研究。之后華中科技大學(xué)在光散射的
原理的光纖式表面粗糙度測量儀的原理和結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上,深入研制出來一種新
型的測量儀,這種儀器不但在測量范圍上有所提高,而且在測量的精度上也有
所提升。