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用X射線衍射顯微鏡研究碳化硅晶體結(jié)構(gòu)

信息分類：生命科學(xué)資訊　　　　作者:YIYI發(fā)布　

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用X射線衍射顯微鏡研究碳化硅晶體結(jié)構(gòu)

　　在底面的表面上與表面梯階無關(guān)的蝕坑的觀察，使我們認(rèn)為有
這樣的一種位錯線存在，其柏氏失量在底面之中，而滑動面與底面
成某一角度，為了驗(yàn)證這一假設(shè)，用X射線衍射顯微術(shù)研究了若干商
業(yè)碳化硅晶體，這些晶體具有許多蝕坑陣列，它們與蝕坑圖譜和相
應(yīng)的衍射顯微照片�？吹絻煞N類型的蝕坑，呈現(xiàn)明亮的六方平底蝕
坑和呈現(xiàn)六方角錐蝕砊，習(xí)慣上認(rèn)為只有那些角錐蝕坑才標(biāo)志著與
表面相交的位錯，直接比較蝕坑圖文并茂與衍射顯微圖所示的位錯
終點(diǎn)可以驗(yàn)證這一假設(shè)，這些晶體的底表面地腐蝕以前是用機(jī)械法
打光的，蝕坑往往只在晶體的一個表面上出現(xiàn)，而與它是否光滑無
關(guān)，那些沒有打光的晶體的兩個都可以使用，象實(shí)驗(yàn)室生長的晶體
那樣，因此，只有那些終止于晶體表面的位錯才呈現(xiàn)相應(yīng)的蝕坑。
每一角錐蝕坑相當(dāng)于衍射顯微照片中的一根黑色短線，它表示通過
晶體的非底面位錯線，或者相當(dāng)于一根黑色長線的終點(diǎn)，它表示準(zhǔn)
底面位錯與表面的交點(diǎn)，右方之處可以看到一組幾乎平行的位錯線
與晶體的沒有形成蝕坑的底表面相交，因此，并不是所有看到一組
幾乎平行的位錯線與晶體的沒有形成的蝕坑的底表面相交，因此并
不是所有與表面相交的位錯線都具有一個相應(yīng)的蝕坑。
本文由出自上海光學(xué)儀器廠，轉(zhuǎn)載請注明
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