AEM基礎(chǔ)上建立起來的聲學顯微技術(shù),陶瓷、金屬結(jié)構(gòu)分析
信息分類：生命科學資訊 作者:YIYI發(fā)布
AEM基礎(chǔ)上建立起來的聲學顯微技術(shù),陶瓷、金屬結(jié)構(gòu)分析
常規(guī)的AFM也僅能觀察試樣的表面形貌。兩種近場聲學顯
微成像的方法：一種叫掃描電聲顯微成像(SEAM)，它是把掃描電子顯微術(shù)和聲
學顯微術(shù)巧妙地集成一體，既具有電子顯微術(shù)高分辨率的特點，又具有聲學顯微
術(shù)非破壞性內(nèi)部成像本領(lǐng)。第二種是在AEM基礎(chǔ)上建立起來的聲學顯微術(shù)，，稱
為掃描探針聲學顯微術(shù)(SPAM)，可以用來對試樣進行疇結(jié)構(gòu)和內(nèi)部缺陷的研
為近場聲學顯微鏡。下面將著重介紹這類成像技術(shù)的物理過程、特點、實驗方法
以及在功能陶瓷顯微結(jié)構(gòu)，特別是在極性功能陶瓷疇結(jié)構(gòu)分析上的實際應用。
為了展現(xiàn)SEAM的特殊功能，文中還介紹了某些結(jié)構(gòu)陶瓷、金屬以及電子器件的電
聲像。
掃描電聲顯微鏡把電子光學技術(shù)、弱信號檢測技術(shù)、高靈敏度壓電傳感技術(shù)、
圖像處理技術(shù)和計算機技術(shù)融為一體，形成了一種獨特的非破壞性表面和亞表面
成像技術(shù)。這一技術(shù)正越來越多地受到人們的重視與研究。
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