激光測(cè)量表面粗糙度的原理激光的特點(diǎn)是亮度高
干涉
顯微鏡是高精度
光學(xué)儀器,要按國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行定期
檢定。
激光測(cè)微儀
激光測(cè)量表面粗糙度具有速度快、效率高、數(shù)字化等優(yōu)
點(diǎn),為機(jī)械加工中主動(dòng)測(cè)量粗糙度開辟了新的途徑,因此近
年來受到廣泛注意,發(fā)展很快。
1.激光測(cè)量表面粗糙度的原理激光的特點(diǎn)是亮度高、
方向性好、干涉性強(qiáng)。當(dāng)一束激光以一定角度照射到金屬表
面時(shí),除一部分光波被金屬吸收外,大部分撥反射和散射。
反射光和散射光的強(qiáng)弱與被照射的表面粗糙度有關(guān)。
反射光集中于小面積上,形成由許多光點(diǎn)組成的光斑;
散射光分布在反射光斑的兩側(cè),形成由許多光點(diǎn)組成的光帶。
光斑和光帶構(gòu)成了特定的圖譜。圖譜的形狀與入射
光的方向、表面的形狀以及表面粗糙度有關(guān)。
據(jù)被測(cè)表面的各種粗糙度級(jí)別與之對(duì)應(yīng)的圖譜的特點(diǎn),可以
很容易評(píng)定被測(cè)表面的粗糙度級(jí)別。評(píng)定方法是利用圖譜比
較和光電轉(zhuǎn)換方法。
圖譜比較法是以標(biāo)準(zhǔn)圖譜作為標(biāo)準(zhǔn),在測(cè)量時(shí),將被測(cè)
件在儀器上呈現(xiàn)的圖譜與標(biāo)準(zhǔn)圖譜進(jìn)行比較,以判斷被測(cè)表
面的粗糙度級(jí)剮。用這種方法得不到粗糙度的具體數(shù)值。