高級(jí)粗糙度表面一般是經(jīng)精磨、研磨或拋光
括系統(tǒng)誤差和偶然誤差。干涉顯微的誤差分析是很復(fù)雜的,
而且每臺(tái)儀器的測(cè)量誤差大小也不一樣,同一臺(tái)儀器不同的
人操作,其測(cè)量誤差也不一樣。因此,對(duì)每臺(tái)干涉顯微鏡要
具體分析其誤差。
高級(jí)粗糙度,高級(jí)粗糙度表面一般是經(jīng)精磨、研磨或
拋光,其切削痕跡不規(guī)則,常常是一些銳利的波峰和波谷組
成,此時(shí)物鏡的鑒別率直接影響到測(cè)量精度。
干涉顯微鏡的使用方法干涉顯微鏡應(yīng)放在無(wú)振動(dòng)、
環(huán)境溫度穩(wěn)定和光線較暗的地方。其操作步驟如下:
1)預(yù)熱測(cè)量前要接通電源預(yù)熱,不預(yù)熱或預(yù)熱不充
分,干涉條紋發(fā)生漂移造成測(cè)量誤差。
2)調(diào)燈絲 燈絲象應(yīng)在視場(chǎng)中央,如不在中央則視場(chǎng)內(nèi)
亮度不均勻,干涉條紋不清晰。
當(dāng)燈絲象不在視場(chǎng)中央時(shí),則將光欄調(diào)整環(huán)調(diào)至最
大,把孔徑光欄全部打開,然后取出目鏡從目鏡孔中觀
察。若看不見燈絲象和物鏡光瞳象,則將光源殼體推進(jìn)或