可以測(cè)量表面不平度范圍為1--0.03μm(相當(dāng)于光潔度▽10一▽14)。
測(cè)量誤差大約為5%。
優(yōu)缺點(diǎn)
優(yōu)點(diǎn)
(i)光切法和干涉法在測(cè)量時(shí)都不使用測(cè)頭,因此不會(huì)劃傷
零件表面
(ii)可以測(cè)出被測(cè)表面實(shí)際輪廓的谷底,測(cè)量精度較高(因
不受測(cè)量頭大小的影響)
(iii)由于測(cè)量?jī)x器(即光切顯微鏡和干涉顯微鏡)比輪廓儀
價(jià)格便宜,所以使用較廣泛。
②缺點(diǎn)
(i)在
光學(xué)儀器上不能一次測(cè)出許多評(píng)定參數(shù)的參數(shù)值;
(ii)輪廓儀一次可以測(cè)出27種參數(shù)的參數(shù)值;而光學(xué)儀器
則要測(cè)量幾次才能得出一個(gè)參數(shù)值
(iii)有許多復(fù)雜表面無(wú)法測(cè)量。
印模法也是一種非接觸式定量測(cè)定表面粗糙度的方法。對(duì)某
些大而笨重零件和難以直接測(cè)量的內(nèi)表面(如孔、槽等表面),使用
儀器測(cè)量粗糙度很不方便,一般采用印模法測(cè)量。當(dāng)然有時(shí)也采
用測(cè)量?jī)x器中另外設(shè)計(jì)的輔助裝置或?qū)S脺y(cè)量?jī)x器來(lái)測(cè)量。
印模法的原理是利用某些塊狀的塑性材料作為印模,貼在被
測(cè)零件表面上,待取下后在貼合面上印制出被測(cè)表面的輪廓狀況,
然后對(duì)印模進(jìn)行測(cè)量,得出粗糙度的參數(shù)值。由于印模材料的強(qiáng)
度和硬度都不高,故不能用接觸法測(cè)量(以免測(cè)量力引起印模表面
波紋變化)。因?yàn)橛∧2牧喜荒芡耆_(dá)到被測(cè)表面微小不平度的
谷底,測(cè)得的印模粗糙度數(shù)值總比被測(cè)表面實(shí)際輪廓的實(shí)際數(shù)值
來(lái)得小。為此,對(duì)印模所得出的表面粗糙度測(cè)量結(jié)果還需要進(jìn)行修
正。修正系數(shù)主要與印模材料有關(guān),通常由實(shí)驗(yàn)確定。