表面測量的統(tǒng)計描述
可以用很多種度量來描述表面的結構。如上所述的均方根值
已被采用多年。首先,使用均方根值可使正值和負值都被包括在
一個簡單的形式中,雖然到后來才認識到均方根值代表“標準差”
這一李實具有重要意義,這將在以后論及。其它的統(tǒng)計值,例如
估計的最大峰高,平均微凸體斜度,和平均微凸體半徑也可以應
用
將非常粗糙的不銹鋼(均方根粗糙度= 3.88μm)和一塊銅的
光學平面相接觸,接觸點尺寸的分布示于圖2.10中。除接觸點
的尺寸范圍在105m以下外,一致性是良好的,而在上述范圍中,
對于分祈器來說,要區(qū)別表面的接觸區(qū)和其它圖形就越來·
越困難了。因此可以斷言,在用光學法和用針式法描述一個表面時,
兩者之間具有良好的一致性,