最佳分辨本領(lǐng)有100埃-材料綜合分析
顯微鏡
目前儀器最佳分辨本領(lǐng)只有100埃,還有待于進一步改進。
如果在掃描電鏡上加裝半導(dǎo)體探測器,
就可以在觀察形貌的同時,對感興趣的部位進行成分分析。
可惜現(xiàn)在只能對原子序數(shù)11以上的元素進行定
性或半定量的成分分析。
為掃描電鏡開展微區(qū)結(jié)構(gòu)分析工作開拓了一條新的道路。
為了完善儀器的綜合分析性能,不少將電子探針和掃描
電鏡進行組合。
由于材料綜合分析的需要,這類儀器的發(fā)展有互相滲透
的趨勢,逐漸發(fā)展成為能同時進行微區(qū)形貌、晶體結(jié)構(gòu)、化
學(xué)成分分析的綜合性儀器。除此以外,還相繼誕生了離子探
針、激光探針等。總之,觀察微觀世界的儀器,隨著科學(xué)本
業(yè)的不斷發(fā)展,將不斷改進完善,微觀世界的奧秘將一一被
揭開。