薄膜技術(shù)正在迅速發(fā)展,因此,
測量容易剝離的蒸鍍
面階梯差和在200-1000A左右范圍來測量斷面形狀的要求有所
增加.本儀儀是根據(jù)這種要求而研制的測量儀.
(1)在檢測儀中,如以縱向放大倍率為50萬倍,并為了側(cè)
定軟弱表面,測量力比過去要更小,必須進(jìn)行50毫克以下的
設(shè)計(jì).
(2)正如上述,為了用小的測量力測量微小的位移(0.002
微米程度),對振動(dòng)要加以考慮,在機(jī)構(gòu)的選擇及結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上是
極為重要的,
接觸式測量儀,測量頭經(jīng)常接觸被測物體,如被測物體由于
外部振動(dòng)影響而移動(dòng),會(huì)測得這種變動(dòng),并當(dāng)作原來形狀的變化.
此外,測量儀自身的振動(dòng),影響測量頭,這也會(huì)被測量出來.最‘
近,關(guān)于對表面粗糙度測量儀的振動(dòng)影響的研究已有所進(jìn)
展,對本儀儀來說,這種振動(dòng)問題就顯得更為重要了.
檢測部分
檢側(cè)部分上的重要裝置是縱向放大裝置、橫向放大裝置和光
杠桿用的照明裝置.所以,就這些裝置的機(jī)構(gòu).對它們的機(jī)構(gòu)設(shè)
計(jì)規(guī)定了如下的必要方針:
(a)縱向放大倍率用的放大機(jī)構(gòu)
(b)橫向放大倍率用的放大機(jī)構(gòu)
裝在表面粗糙度瀏定儀上最簡單的橫向放大倍率用的放大機(jī)
構(gòu)是這樣一種機(jī)構(gòu),放在被測零件上的臺(tái)架和記錄紙卷筒通過皮
帶輪由電動(dòng)機(jī)來驅(qū)動(dòng),以兩者的速度比來決定記錄紙上的橫向放
大倍率.當(dāng)用這樣的機(jī)構(gòu)時(shí),因?yàn)楫嫵鰯嗝嫘螤钋的針孔像在
一定位置只向上下方向移動(dòng),所以用肉眼觀察來求表面粗糙度的
形狀就有困難.因此,要考慮能利用針孔像在固定不動(dòng)的平面屏
幕或平放的感光紙上畫出具有一定縱向放大倍率和橫向放大倍率
的斷面形狀曲線的機(jī)構(gòu).為了要適應(yīng)這種機(jī)構(gòu),以便用肉眼觀察
求出斷面形狀曲線.為此,對應(yīng)于裝有觸針的杠桿的移動(dòng),使反
射鏡轉(zhuǎn)動(dòng),重新設(shè)計(jì)針孔像作橫向移動(dòng)的機(jī)構(gòu).
再者,針孔像對感光紙達(dá)到完全感光程度的反射鏡的旋轉(zhuǎn)角
速度,換言之即觸針夾持杠桿的移動(dòng)速度,必須是在側(cè)量時(shí)使觸
針完全追隨被測表面的速度.