測量粗糙度的技術(shù)應(yīng)用的特點(diǎn)-光學(xué)粗糙度測量顯微鏡
信息分類：生命科學(xué)資訊 作者:YIYI發(fā)布
自從激光問世以來，由相干激光產(chǎn)生的散斑受到了極大的重視，研究
了散斑圖樣的統(tǒng)計(jì)特性。
測量粗糙度的技術(shù)，這種技巧是通過利用部分時(shí)間相干光在象面附
近產(chǎn)生的散斑圖樣對(duì)比度來測量的，以后淺侖俊光以及他的同事研究了
產(chǎn)生在成象面用衍射面上的散斑強(qiáng)度變化的統(tǒng)計(jì)特性，
這些特性與工件
表面粗糙度以及照明的相干條件及光學(xué)成象系統(tǒng)的點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)有關(guān)。在
這些研究的基礎(chǔ)上，一種利用散斑圖樣對(duì)比度來進(jìn)行表面粗糙度的非接
觸測量。
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