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觸針的表面粗糙度的測(cè)量方法-測(cè)量顯微鏡型號(hào)

信息分類：生命科學(xué)資訊　　　　作者:YIYI發(fā)布　

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觸針的表面粗糙度的測(cè)量方法-測(cè)量顯微鏡型號(hào)

首先要像下面那樣確定它的基本設(shè)計(jì).

基準(zhǔn)部分和運(yùn)動(dòng)部分

    用觸針的表面粗糙度的測(cè)量方法是,觸針的夾持裝置向被瀏
表面的平均方向作相對(duì)運(yùn)動(dòng),以其巾之一的運(yùn)動(dòng)軌跡作為荃準(zhǔn)形
狀.這種測(cè)量方法是對(duì)應(yīng)基準(zhǔn)形狀求得被測(cè)表面顯微形狀的方法.
    用被測(cè)表面移動(dòng)的方式時(shí),由于受被測(cè)零件的形狀和大小的
限制.所以采用觸針的夾持裝置移動(dòng)的方式,這是能夠容易測(cè)量
各種尺寸和形狀的零件的結(jié)構(gòu).

    在這種情況下,由于測(cè)量基準(zhǔn)形狀是觸針的夾持裝置的直線.
運(yùn)動(dòng)的軌跡,所以運(yùn)動(dòng)的導(dǎo)向裝置的設(shè)計(jì)是一個(gè)重要問題.因此,
對(duì)這種裝置的機(jī)構(gòu)采用新機(jī)構(gòu).

考慮到縱向放大倍率為10000倍,觸針夾持裝置的直線運(yùn)動(dòng)精度在整
個(gè)移動(dòng)范圍內(nèi)規(guī)定真直度為0.2微米.再者,關(guān)系到橫向放大倍
率,觸針部分的最大移動(dòng)范圍規(guī)定為20毫米.

本文由出自上海光學(xué)儀器廠，轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明
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