.各種物理方法制作的傳感器,將粗層厚度這一參量變?yōu)殡娦盘枺?/div>
‘以實現(xiàn)覆層厚度的測量.
對于傳感器及其實現(xiàn)測量的機(jī)械結(jié)構(gòu),在無損探傷中,通常
稱作探頭,在醫(yī)學(xué)檢查和物理量的測試中,較多地稱作探針,而
在覆層厚度測量中,則稱作測頭.
根據(jù)測頭和被測工件表面是否接觸,可將覆層厚度測量分為
接觸測量和不接觸測量.
接觸測量是測頭和被測工件表而直接接觸的測量,并有機(jī)械
作用力存在,通常制成品和半成品的覆層厚度測量大多采用接觸
測量