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SEM相比光學(xué)顯微鏡最主要的優(yōu)點(diǎn)之一在于景深

信息分類：生命科學(xué)資訊　　　　作者:YIYI發(fā)布　

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SEM相比光學(xué)顯微鏡最主要的優(yōu)點(diǎn)之一在于景深


    SEM相比光學(xué)顯微鏡最主要的優(yōu)勢之一在于景深(眼睛能夠清晰成像的物
體所處的位置范圍)的增加。例如.在100 X的圖像放大倍率下.SEM的景深
約為1mm，而在光學(xué)顯微鏡中為1μm。小的子L徑能提供較大的景深，也能提高
分辨率。較短的工作距離也可用于高分辨率的工作.但這將導(dǎo)致景深降低。對于

背散射電子成像和X射線分析.較大的孔徑和電子束直徑能夠用來提高電子束
電流以增加信號強(qiáng)度。但是，較高的電子束電流又能導(dǎo)致樣品的損傷

    在聚焦和記錄圖像時(shí)，往往從根本上降低掃描速度以提高信噪比。而尋找
感興趣的區(qū)域時(shí)，一般進(jìn)行快速刷新(25幀/s)。通過傾斜樣品可以提高可檢測的

    SEM的另一個(gè)優(yōu)勢是可以通過檢測特征X射線來繪制元素分布圖由于收集的X
射線源自較大的體積范圍.因此元素分布圖的分辨率低于相應(yīng)的SEM圖。不過，
元素分布圖對檢測樣品的均勻性是很有用的。

    在SEM中，場發(fā)射電子槍的使用已經(jīng)使ICI像分辨率得以提高具有數(shù)個(gè)納米級
分辨能力的SEM對凝聚結(jié)構(gòu)中單個(gè)粒子例行成像是完全可能的。
本文由出自上海光學(xué)儀器廠，轉(zhuǎn)載請注明
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