TEM電子
顯微鏡儀器有哪些優(yōu)點(diǎn)-顯微儀器常識(shí)
TEM 儀器的一個(gè)根本缺點(diǎn)是有色差。由于透射過(guò)去的電子必得用
色差系數(shù)高的透鏡成像,因而限制了分辨率。這個(gè)缺陷的主要來(lái)源在
于大部分的入射電子,特別是在原子序數(shù)低的組織學(xué)材料中,以各種
不同的方式與樣品的原子和分子作用,在此過(guò)程中會(huì)丟失一部分能量。
這類非彈性散射的電子同樣顯示出能量損失光譜,它們的波長(zhǎng)比入射
電子
的波長(zhǎng)長(zhǎng),因而聚焦在比高能電子更靠近樣品的地方。這樣,我
們用
光學(xué)顯微鏡對(duì)色差作電子光學(xué)模擬,發(fā)現(xiàn)色差主要由樣品引起。
分辨率的損失在厚樣品中特別突出,這就是把多數(shù)TEM 限制得只能應(yīng)
用超薄切片的主要因素。因?yàn)镾TEM中,單能電子在與樣品
作用之前就先被聚焦,所以不需要成像透鏡,這樣,原樣品的成
像會(huì)大有改進(jìn)。有入計(jì)算了在給定的加速電壓下,若STEM產(chǎn)生的分辨
率能與TEM 的分辨率相比時(shí),其樣品厚度可比TEM 所允許的厚3-10倍