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TEM電子顯微鏡的基本構(gòu)成與原理-光學(xué)儀器

信息分類：生命科學(xué)資訊　　　　作者:YIYI發(fā)布　

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TEM基本構(gòu)成與原理 
        大致上可分成以下幾個(gè)部份：電子源系統(tǒng)、電磁透鏡系統(tǒng)、試片室、以及最后成像系統(tǒng)。
大量的電子經(jīng)高壓作用由燈絲射出并加速獲得能量后再由聚光鏡作用形成電子束，
電子束通過(guò)試片后會(huì)分開(kāi)成直射電子束及繞射電子束，這些電子束再經(jīng)由電磁透鏡系統(tǒng)的作用最后
以放大影像或繞射圖形(diffraction patterns)的形式投影在成像平面上。
電子源系統(tǒng)是由電子光束及聚光鏡所構(gòu)成，電子光束的重要特性是亮度要足夠高，且能量散佈要小。
目前常見(jiàn)的電子光束類型大致可分為鎢(W)燈絲、六硼化鑭(LaB6)燈絲、及場(chǎng)發(fā)射(field emission)電子光束等三種，
前兩種是采熱游離方式來(lái)萃取出燈絲中的電子，而場(chǎng)發(fā)射的原理則是當(dāng)真空中的金屬表面受到108V/cm大小的電場(chǎng)加速時(shí)
       會(huì)有可觀的電子經(jīng)由"Schottky"效應(yīng)而發(fā)射出來(lái)。三種電子光束的亮度比依序?yàn)?:10:1000，
場(chǎng)發(fā)射電子光束因同時(shí)具有高亮度及低的電子能量散佈，因此現(xiàn)在高解析度的TEM多采用此種形式的電子光束。
場(chǎng)發(fā)射電子光束的電子產(chǎn)生率受真空度的影響很大，須在約10-9-10-10 torr的真空度下操作。
真空度若不夠高，除電子產(chǎn)生效率低外，燈絲的壽命也容易減低。電子源系統(tǒng)的真空要求度是整個(gè)TEM中最高的部份，
通常會(huì)搭配離子泵浦(ion pump)來(lái)維持真空狀態(tài)。

本文由出自上海光學(xué)儀器廠，轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明
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