例如電壓穩(wěn)定度、離焦、透鏡像差、電子束的分布函數(shù)、量測的重複性及再現(xiàn)性等。
針對在使用電荷耦合
元件取得影像后,于影像處理軟體中進行量測時由影像畫素所造成的不確定度進行一系列探討。
在影像處理軟體中,有三種主要量測工具,其分別為line ROI tool、line profile tool與line tool。
在評估之后,其結(jié)果顯示以line profile tool進行量測,可獲得最小量測不確定度以及最低擴充不確定度百分比。
之后,便比較于真實空間中與倒置晶格空間中,由軟體最終所得之影像其影像畫素對于量測時的影響,
比較后發(fā)現(xiàn),在降低擴充不確定度百分比時,真實空間與倒置晶格空間兩者可達到近似的結(jié)果