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顯微量測(cè)儀可以對(duì)微細(xì)部位之精密表面輪廓量測(cè)

信息分類：生命科學(xué)資訊　　　　作者:YIYI發(fā)布　

自動(dòng)光學(xué)三維顯微量測(cè)系統(tǒng)，利用微數(shù)位鏡式顯示器 (Digital Micro-mirror Display,DMD)、

影像光纖及微數(shù)位光學(xué)投影與取像系統(tǒng)，開發(fā)一套具分離式微量測(cè)探頭之可攜式數(shù)位三維顯微量測(cè)系統(tǒng)，

它除可進(jìn)行一般三維表面輪廓高垂直解析度與精密度之微細(xì)元件精密檢測(cè)，

亦可進(jìn)行量測(cè)大型樣本(或具狹窄空間)微細(xì)部位之精密表面輪廓量測(cè)。

以應(yīng)用DMD 投射出結(jié)構(gòu)光條紋，經(jīng)準(zhǔn)直鏡組、影像縮放鏡組、聚焦物鏡、同調(diào)影像光纖束(coherent image fiber bundles)

及影像放大鏡組等光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)與整合，將結(jié)構(gòu)光條紋以俯視角度投射到待測(cè)元件之表面輪廓上，再藉由高解析之CCD 相機(jī)將影像擷取至電腦中，

進(jìn)行影像之前處理(Image conditioning andprocessing)，

三維數(shù)據(jù)運(yùn)算處理(彩色多波長相位移法與共焦深度掃描法)及三維影像疊合與重建等重要過程，

以獲得精密之三維量測(cè)數(shù)據(jù)與實(shí)體輪廓之三角網(wǎng)格(STL)等資料

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