掃描熱導(dǎo)
顯微鏡的探針的設(shè)計(jì)有多種,包括偵測(cè)系統(tǒng)在AFM懸臂上的浧茼r形尖端、直徑約一微米的Pt/Rh(90:10)金屬線、
或是整合偵測(cè)系統(tǒng)在AFM的探針尖端上。由于掃描熱導(dǎo)顯微鏡的探針是種電能轉(zhuǎn)換器,
所以待測(cè)試片表面必須絕緣,以防止探針上的偵測(cè)器短路。此外,為了避免試片表面粗糙而影響解析度,
一般會(huì)將試片表面以機(jī)械研磨拋光,再清洗后,才作掃描熱導(dǎo)顯微量測(cè)。
各種掃描式探針顯微鏡的探針設(shè)計(jì)及偵測(cè)系統(tǒng)的發(fā)展,強(qiáng)烈影響其應(yīng)用范圍與可行性;
本文所說(shuō)明的三種衍生的掃描式探針顯微技術(shù)的關(guān)鍵就在于探針設(shè)計(jì)及材料的選擇,
偵測(cè)系統(tǒng)的在軟體及硬體上的整合,配合適當(dāng)?shù)睦碚撃P团c模擬計(jì)算,
甚至在欲測(cè)試片的制作及處理上都十分重要,且亟待更多的研發(fā)與改進(jìn)。