AFM工作原理
何謂光杠桿
激光光打在懸臂樑的末端上,懸臂樑上的針尖在掃描樣本時,由于樣本表面的高低起伏會使懸臂樑產(chǎn)生偏折。
若懸臂樑偏折的角度為θ時,則激光光反射后偏折的角度為2θ,此一偏折的激光光由光感度偵測器接收后,
推算出懸臂偏折的程度,并將此接收到的激光光訊號轉(zhuǎn)換成樣本表面的高低影像圖。
除了量測樣本表面的起伏之外,
當(dāng)樣本表面各處的摩擦力不同時,掃描也可利用探針和樣本表面之間側(cè)向力的不同,造成懸臂樑在掃描時產(chǎn)生扭轉(zhuǎn)角度的不同,
利用懸臂樑扭轉(zhuǎn)角度不同造成激光光反射角度的不同,也可得到樣本表面的資訊