上海光學(xué)儀器一廠-表面分析儀器產(chǎn)品列表
信息分類：生命科學(xué)資訊 作者:YIYI發(fā)布
上海光學(xué)儀器一廠-表面分析儀器產(chǎn)品列表
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飛行式質(zhì)譜儀(Laser Time-of-flight Mass Spectrometer)是一種表面分析儀器。
以脈衝式釹釔鋁石榴石(Nd-YAG)電射照射固態(tài)試樣,使表層物 質(zhì)汽化及離子化后,由飛行式
質(zhì)譜儀擷取此物質(zhì)之組成成份訊息,可即時(shí)作析 真空室內(nèi)之固態(tài)試樣在二維面上選定位置表
層物質(zhì)之組成成份,或選定位置 縱深層物質(zhì)之組成成份。儀器由雷射源、機(jī)構(gòu)主體及電氣系
統(tǒng)組成,機(jī)構(gòu)主體包括試樣傳送器、試樣準(zhǔn)備室、主分析室及飛行式質(zhì)譜儀。電射飛行式質(zhì)
譜儀主要應(yīng)用于電子、光學(xué)及機(jī)械材料表面分析(如積體電路、光學(xué)薄膜及特殊材料處理等
之分析)。此外并應(yīng)用于地質(zhì)學(xué)、生物科技、材料 科學(xué)、原子科學(xué)、微電子學(xué)、及分析化學(xué)等科學(xué)研究領(lǐng)域。
當(dāng)離子化所形成之光子飛行路徑越長(zhǎng),激光質(zhì)譜儀之解析能力及精度也 就越高。
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