光波導(dǎo)的制作流程

光波導(dǎo)的制作流程與積體電路的制作流程相似，我們以脊形波導(dǎo)為例，說(shuō)明如何在玻璃上成長(zhǎng)脊形波導(dǎo)。

1.在玻璃表面成長(zhǎng)一層氣化矽厚膜(厚度大于1m)，形成“玻璃／氧化矽”的兩層結(jié)構(gòu)，

2.將“氧化矽／玻璃”放入光阻涂佈機(jī)(Spin coater)，在表面涂佈光阻層，形成“光阻／氧化矽／玻璃”的三層結(jié)構(gòu)，

3.將光罩放在“光阻／氧化矽／玻璃”上方進(jìn)行光罩圖形轉(zhuǎn)移，注意光罩的圖形是要讓紫外光穿過(guò)左右兩個(gè)區(qū)域。被紫外光照射過(guò)的區(qū)域，光阻化學(xué)鍵結(jié)被破壞，使光阻很容易被化學(xué)藥品溶解掉。

4.將“光阻／氧化矽／玻璃”放入“顯影液”中反應(yīng)，化學(xué)鍵結(jié)被破壞區(qū)域的光阻會(huì)被顯影液溶解，

5.將“光阻／氧化矽／玻璃”放入乾式蝕刻機(jī)中反應(yīng)，使用微波產(chǎn)生帶負(fù)電的“氟氣體離子”，另外在矽晶圓上外加正電壓，吸引帶負(fù)電的氟氣體離子加速射向氧化矽。沒(méi)有光阻保護(hù)的區(qū)域氟氣體離子會(huì)與氧化矽反應(yīng)而使氧化矽去除掉；有光阻保護(hù)的區(qū)域氧化矽受到光阻的保護(hù)而保留下來(lái)。

7.將“光阻／氧化矽／玻璃”放入“去光阻液”中反應(yīng)，有光阻存在的區(qū)域光阻會(huì)被去光阻液溶解