原子力
顯微鏡的原理.懸臂擁接觸式、非接觸式、輕敲式三種!
原子力顯微鏡是使用凡得瓦力掃描試件,藉由壓電材料細(xì)微的控制機(jī)具移動定位,這種材料受到電壓時會延電場伸長的特性,稱為逆壓電效應(yīng),做微量調(diào)整,配合雷射干涉儀與模組,重現(xiàn)試片表面結(jié)構(gòu)。
AFM的懸臂擁接觸式、非接觸式、輕敲式三種,整體而言,原子力顯微鏡的優(yōu)點(diǎn)有較佳的水平與垂直解析度,不受材料之性質(zhì)(是否為導(dǎo)體)、樣貌、粗糙度、關(guān)鍵尺度之量測與不受大器與液體內(nèi)影響,但有
測量面積小(10微米),怕震動等缺陷。