研究更小尺寸的顆粒物質(zhì)、顯微孔洞需要電子
顯微鏡
為了研究更小尺寸的顆粒物質(zhì)、顯微孔洞或其他顯微組織單元,
需要對顯微鏡進(jìn)行改進(jìn),例如,采用波長比光波短的射線,以提
高其分辨能力。當(dāng)然,采用這種或那種射線均應(yīng)具有聚焦的可能
性,就如同我們利用用透鏡對光線進(jìn)行聚焦一樣。在發(fā)現(xiàn)電子波
動性能后不久,
于本世紀(jì)三十年代初開始制成透射式電子顯微鏡。它與透射式光
學(xué)顯微鏡在
光學(xué)系統(tǒng)和成像原理上都極為相似。只是電子顯微鏡
采用電子光源、電磁透鏡和最終在熒光屏上成像。由于電子束波
長和加速電壓有關(guān),如當(dāng)加速電壓提高到100千伏時,
電子束波長僅為可見光波長的十萬分之一左右,因而電子顯微鏡
的分辨能力比光學(xué)顯微鏡高得多,目前已達(dá)到原子間距尺度。此
外,由于電子顯微鏡的數(shù)值孔徑極小,因而大大地提高了垂直鑒
別率(即焦深),物鏡焦深可達(dá)5000埃左右,經(jīng)投影鏡成像后焦深