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微裝配與微操作和傳統(tǒng)的裝配輔助用圖像顯微鏡

信息分類：生命科學(xué)資訊　　　　作者:YIYI發(fā)布　

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微裝配與微操作和傳統(tǒng)的裝配輔助用圖像顯微鏡

    微裝配與微操作和傳統(tǒng)的裝配（一般稱為“宏”裝配）有很大
的不同，主要是微裝配與微操作的對(duì)象尺寸是微米以下級(jí)的。

    當(dāng)球半徑小于1mm 時(shí)，表面張力總是大于重力，當(dāng)球半徑小于
0. 1 mm 時(shí)，范德華力總是大于重力，而當(dāng)球的半徑小于0. 01 mm
時(shí)，靜電力要大于重力，而在這三種力中，表面張力的影響最大。
表面張力主要受環(huán)境濕度和互相接觸物體的表面材料影響。干燥或
真空的環(huán)境、不吸水的表面涂層都可減小表面張力。靜電力主要產(chǎn)
生于摩擦和物體的碰撞，帶不同電荷的物體將產(chǎn)生靜電力。表面張
力和靜電力很難建立起力學(xué)模型，所以在微器件的裝配與操作中一
般使用閉環(huán)控制。同時(shí)，由于重力因數(shù)下降，當(dāng)操作手爪靠近微器
件時(shí)，微器件會(huì)突然吸附在手爪上，而當(dāng)釋放微器件時(shí)，它又會(huì)粘
連在手爪上，

    同樣，也由于重力的減小，使得器件裝配時(shí)幾乎感覺(jué)不到力的
反饋，而微小的器件又容易破碎，所以在裝配時(shí)必須使用微力傳感
器進(jìn)行力的反饋。要檢測(cè)到微小力的反饋，力傳感器的設(shè)計(jì)面臨挑
戰(zhàn)。另外，由于器件的尺寸為微米以下量級(jí)，它的定位精度要求達(dá)
到幾百納米，普通的機(jī)械手是無(wú)法達(dá)到這樣精度的，必須設(shè)計(jì)高精
度的微裝配與微操作手爪。

本文由出自上海光學(xué)儀器廠，轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明
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