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機(jī)械輪廓儀有哪些不足的之處-光學(xué)分析顯微鏡

信息分類：生命科學(xué)資訊　　　　作者:YIYI發(fā)布　

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機(jī)械輪廓儀有哪些不足的之處-光學(xué)分析顯微鏡

  反映整個(gè)三維粗糙度表面有全貌。

  由于機(jī)械輪廓儀方法的上述不足。人們對(duì)開拓光學(xué)技術(shù)來測(cè)量表面粗
糙度已進(jìn)行了實(shí)質(zhì)性的探討，

從各種不同的觀點(diǎn)對(duì)干涉測(cè)量及散射法廣
泛地進(jìn)行了研究。后者是基于貝克曼的理論以測(cè)量條紋對(duì)比度為基礎(chǔ)的
干涉測(cè)量法，


要求表面粗糙度的高度小于一個(gè)波長，因此在應(yīng)用上受到
限制。另一方面，對(duì)于光散射法，除了上面的限制外，

一般說來還要求
表面高度分布呈高斯型，表面高度自相關(guān)函數(shù)呈高斯型，因此，光散射
法在應(yīng)用上受到相當(dāng)大的限制。

本文由出自上海光學(xué)儀器廠，轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明
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