顯微鏡檢驗(yàn)產(chǎn)品或過濾面是測(cè)量粒子污染最有效的方法,
但是,如不采用自動(dòng)化,這些方法就既繁瑣,又浪費(fèi)時(shí)間。
自動(dòng)式科研級(jí)顯微鏡的研制成功使瞬時(shí)測(cè)量成為可能,氣體的物質(zhì)粒子
含量降到0.3微米,液休降到2微米。當(dāng)然,由這類儀器所取得的
表面潔凈度的資料是第二手的�?梢赃@樣假設(shè):如果產(chǎn)品只是在
潔凈環(huán)境中暴露,那么,從該環(huán)境落到產(chǎn)品表面的粒子數(shù)為零。連
續(xù)監(jiān)視產(chǎn)品周圍環(huán)境,對(duì)引起產(chǎn)品表面污染的環(huán)境潔凈度進(jìn)行瞬
時(shí)識(shí)別。光散射粒子計(jì)數(shù)器可對(duì)長時(shí)間特定位置作連續(xù)自動(dòng)監(jiān)視。
所得數(shù)據(jù)的分析只是一項(xiàng)必要工作。由于光散射粒子監(jiān)視器
很重要,并且應(yīng)用廣泛,所以將詳細(xì)地討論這類設(shè)備。對(duì)測(cè)量氣體
中粒徑小于0.3微米的兩種儀器進(jìn)行簡(jiǎn)要評(píng)述。