掃描電子顯微鏡
透射式電子顯微鏡是利用透射過樣品的電子來成像的。
當(dāng)電子束打到樣品上,除了透射電子以外還產(chǎn)生反射電子和二次電子。
其中產(chǎn)生的二次電子的數(shù)目與表面的特性有關(guān),最能反映表面的凹凸
不平的情況。
掃描電子顯微鏡就是利用二次電子來成像的。掃描電子顯微鏡的成像
原理與電視的原理有些相似。在掃描電子顯微鏡中,用閃爍探測(cè)器
收集二次電子,電信號(hào)經(jīng)過放大之后用來調(diào)制顯像管熒光屏
上光點(diǎn)的強(qiáng)度。使用掃描線圈使一束很強(qiáng)很細(xì)的入射電子束
在樣品上移動(dòng),顯像管上的光點(diǎn)也同步移動(dòng)。
因此,在樣品的每一點(diǎn)上所產(chǎn)生的二次電子的數(shù)目就轉(zhuǎn)換為顯像管上
對(duì)應(yīng)位置的亮度。這樣就能用掃描電子顯微鏡研究物體的表面構(gòu)造。