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矽晶圓試件表面需要使用電子顯微鏡來觀察

信息分類：生命科學(xué)資訊　　　　作者:YIYI發(fā)布　

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矽晶圓試件表面需要使用電子顯微鏡來觀察

滯滑現(xiàn)象的粗糙度機(jī)制與實(shí)驗(yàn)
    探針在粗糙形貌的表面上移動(dòng)，實(shí)際上驅(qū)動(dòng)探針的速度可能為定值，
然而探針在試樣表面運(yùn)動(dòng)的情況卻往往是滯滑行為。儘管這類型的滯滑行為早期即已提出，
然而由于表面缺陷等因素導(dǎo)致實(shí)際量測(cè)的結(jié)果卻往往是雜訊。因此為了觀察粗糙度型的滯滑現(xiàn)象，
實(shí)驗(yàn)的試件表面狀況和正向負(fù)載的量都必須小心選擇。
使用圓球型的鉆石探針與具有良好的表面狀況和機(jī)械性質(zhì)的矽晶圓試件來進(jìn)行實(shí)驗(yàn)

微接觸的統(tǒng)計(jì)分析
    在探針和試件之間的接觸會(huì)造成試件變形，是粗糙度型滯滑現(xiàn)象的一個(gè)主要影響因素；
因此正向負(fù)載對(duì)于滯滑現(xiàn)象的影響不容小覷。而且試件表面的粗糙度為多尺度特性，
而滯滑現(xiàn)象的特征尺度僅為其中的一部份。我們利用一系列不同頻率的馀弦函數(shù)累加來表達(dá)試件表面，
并將建立于統(tǒng)計(jì)計(jì)算的微接觸機(jī)構(gòu)用來建立壓痕負(fù)載和滯滑現(xiàn)象的關(guān)系。

試件表面的特征
    首先利用原子力顯微鏡量取矽晶圓試件表面；肉眼看似鏡面的晶圓表面仍然可以
量測(cè)到相當(dāng)?shù)认蚯揖|(zhì)的粗操形貌。我們將取樣尺度下的表面形貌可當(dāng)作晶圓整體的代表，
將其拆解為200個(gè)馀弦函數(shù)；這些函數(shù)的高度分佈便可以利用平均值與標(biāo)準(zhǔn)差來描述
本文由出自上海光學(xué)儀器廠，轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明
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