為提升量測系統(tǒng)的精度,因此在本研究中導(dǎo)入次像素
的方法,利用拋物線曲線分布分析的方法來精確得到影像
中光柵條紋之灰階分布的最低位置。利用此方法所得的光
柵條紋骨架將比用二值化后的影像再做細(xì)線化處理的光柵
條紋中心位置還要來的精確許多;最后并利用多項式回歸
的方式,克服由拋物線曲線分布分析的次像素方法中所產(chǎn)
生的抖動,如此更加精確的得到條紋的中心座標(biāo)。
在高度的量測及重建上,利用光柵投影系統(tǒng)擷取光柵條紋影像,
將擷取進來之影像利用次像素的方法來分析條紋、量測透
鏡高度、量測透鏡曲率及重建透鏡的三維輪廓,其所需耗
費之時間僅需1 秒即可完成,由此可知,本系統(tǒng)具有高速
量測的優(yōu)點。經(jīng)由實驗可知,本系統(tǒng)利用次像素及多項式
回歸的方法來量測物體的高度,量測精度可達1-2 μm,由
此可知本系統(tǒng)具有高靈敏度的優(yōu)點