初步觀察界面一連續(xù)層之生成物為單一的相,為了更清楚的觀察此生成物并確認(rèn)其為單一相,
我們將反應(yīng)后的試片以適當(dāng)?shù)乃嵋哼M(jìn)行蝕刻。為了酸蝕界面生成物,我們采用HCl與C2H5OH的混合溶液,嘗試不
同濃度的HCl與C2H5OH的混合溶液,發(fā)現(xiàn)此生成物很容易與酸液進(jìn)行反
應(yīng),所以我們采用體積百分比為 3 % HCl與 97 % C2H5OH進(jìn)行短時(shí)間的酸
蝕,圖 4-5 為試片酸蝕后的BEI圖。圖中可以看到在反應(yīng)溫度 480℃的試片
之界面生成物,其晶粒皆被蝕刻出來(lái),且只觀察到單一種晶粒的存在,若
界面生成物有兩種介金屬,經(jīng)酸蝕后則可能會(huì)出現(xiàn)兩種不同的晶粒,但此
實(shí)驗(yàn)溫度條件下的試片經(jīng)酸蝕后,皆未觀察到此種結(jié)果