掃描探針顯微技術,應用最為廣泛
SPM- 掃描探針顯微鏡
SPM主要應用于基礎性學術研究,根據應用的范圍發(fā)展出一系列不同類型的SPM,
更加深與拓寬了其實用性�?删C合地對物質表面的微結構的性質,如溫度、硬度、電容以及磁、電、黏著、摩擦等進行量測和分析
掃描探針顯微鏡包含微探針、感測器、掃描平臺和控制系統(tǒng)幾個部份,如下圖所示。
其原理是利用一根極微細的探針(微探針),在極靠近試片表面處對試片表面的形貌或特性(如:電、磁和光等特性)進行探測。
對于其幾個頗重要的部份,于下列作進一步的介紹
除電子顯微像外﹐利用透射電鏡還可以觀察電子衍射圖﹐如高分辨衍射﹑選區(qū)衍射﹑微區(qū)衍射和會聚束衍射等。