精密量具可依其測量對象及特性分為七大類。
1.測量表面與水平
其測量儀具列舉如下:
(1).表面粗糙度分析儀(surface analyzer)。
(2).水平儀。
(3).平臺。
(4).光學(xué)平板。
2.測量長度
其測量儀具列舉如下:
(1).直尺。
(2).內(nèi)外卡、游標(biāo)尺卡、測微器。
(3).高度規(guī)、深度規(guī)。
(4).精密塊規(guī)。
(5).電子測微器、氣壓測微器。
(6).指示量表(gauge)。
3.測量角度與錐度
其測量儀具列舉如下:
(1).分度規(guī)儀。
(2).組合規(guī)。
(3).正弦棒、正切棒。
(4).精密角度塊規(guī)。
(5).三角測量。
(6).自準(zhǔn)儀。
(7).光學(xué)分角儀。
4.測量輪廓
其測量儀具列舉如下:
(1).面積儀(planimeter)。
(2).比較測定儀。
(3).投影放大儀(profile projector)。
(4).真圓度機(jī)。